海棠
2025-01-31 01:06:52 阅读：116次
步进扫描（Step-and-Scan）是一种 融合了扫描投影光刻和分步重复光刻的技术。它通过使用缩小透镜将大曝光场图像扫描到晶片上的一部分，然后晶片步进到下一个曝光区域重复这一过程。步进扫描的优点包括增大了曝光场、可以获得较大的芯片尺寸，以及一次曝光可以曝光多个芯片等。
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在光刻工艺中，步进扫描光刻机通过配置不同波长的光源，可用于不同的工艺技术节点，光源覆盖了从365nm（i线）到13.5nm的EUV光源。
此外，步进扫描还可以用于红外搜索系统，实现大俯仰空间搜索，用于探测较大高度范围内来袭目标。在实验测量中，步进扫描方式用于完成指定角度范围内衍射图的扫描，其优点是不受计数率表RC的影响，没有滞后及RC的平滑效应，分辨率不受RC影响。
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